摘要：針對硅太陽能電池的生產過程中排放的廢水性質，對相應的廢水處理工藝及廢水站進行分析介紹，以期盡可能控制電池生產中的廢水污染，為硅晶電池生產線的廢水處理系統設計提供參考和借鑒。

關鍵詞：酸洗制絨、含氟廢水、含IPA廢水、含鉻廢水

1、概述

盡管太陽能是綠色能源，且太陽能電池廠排放的污染物，與石油、煤炭行業相比，對環境的污染要少很多。但由于目前國內太陽能產業技術落后、政策不完善等原因，電池生產過程在國內仍存在較嚴重的污染。對電池生產的廢水污染的控制是一個不可回避的現實問題。

2、硅太陽能電池的生產廢水濃度和性質分析

硅太陽能電池生產中在腐蝕清洗、去磷硅玻璃和石英管清洗等工藝過程中須使用KOH、IPA、鉻酸、HF、HCl、H2SO4等化學藥品，相應的產生含IPA濃廢液廢水和含氟廢液廢水、含鉻廢水。硅太陽能電池的主要生產工序如下：

清洗：清洗的主要目的是去除硅片上的污物。

制絨：硅晶太陽能電池的制絨工藝是加入鉻酸或HNO3、HF、H2SO4的強氧化性溶液將切割后硅片上的污物清除，在硅片上形成減反織構。

擴散：磷擴散是在硅片表層摻入純雜質原子的過程。

刻蝕、去PSG：利用HF溶液對硅片邊緣進行腐蝕，去除硅片邊緣的PN結。

去PSG是對刻蝕后硅片上的磷硅玻璃用氫氟酸等清洗的方法進行清除。具體參見http://www.bnynw.com更多相關技術文檔。

等離子化學氣相沉積(PECVD)：PECVD被使用來在硅片上沉積氮化硅材料。

絲網印刷：是通過絲網印刷機將銀漿或鋁漿等導電材料印刷在硅片上。

詳情請下載附件：硅太陽能電池生產線廢水處理及回用工藝