摘要：針對目前國內西門子法多晶硅生產工藝特點，分析了其生產廢水的水質特性。結合某多晶硅企業廢水處理實踐。介紹了兩級中和、一體化混凝沉淀過濾、機械壓濾工藝和設備在多晶硅生產廢水處理中的應用，應用效果顯著，能滿足國家排放標準和企業回用要求。

關鍵詞：多晶硅；廢水；中和；混凝沉淀；污泥壓濾；達標排放；回用

由于國外先進的多晶硅生產技術長期對我國封鎖，我國自主研發的技術起步較晚，還在不斷完善和提升中，現在已建成投產或正在建設的國內多晶硅企業除了極少數外基本上都沒有實現物料的全閉路循環，有些企業甚至連完整的回收工序都沒有健全，大部分企業因技術、規模、成本等原因對氯硅烷低沸物、氯化氫、系統置換尾氣均沒有回收而是排到“三廢”處理系統。(谷騰水網)
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