超臨界水氧化處理污水的工藝最早是由Modell提出的，其流程見圖 7。
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| 圖 7 超臨界水氧化處理污水流程 1-污水槽；2-污水泵；3-氧化反應器；4-固體分離器；5-空氣壓縮機；6-循環用噴射泵；7-膨脹機透平；8-高壓氣液分離器；9-蒸汽發生器；10-低壓氣液分離器； 減壓器 |
過程簡述如下：首先，用污水泵將污水壓入反應器，在此與一般循環反應物直接混合而加熱，提高溫度。然后，用壓縮機將空氣增壓，通過循環用噴射器把上述的循環反應物一并帶入反應器。有害有機物與氧在超臨界水相中迅速反應，使有機物完全氧化，氧化釋放出的熱量足以將反應器內的所有物料加熱至超臨界狀態，在均相條件下，使有機物進行反應。離開反應器的物料進入旋風分離器，在此將反應中生成的無機鹽等固體物料從流體相中沉淀析出。離開旋風分離器的物料一分為二，一部分循環進入反應器，另一部分作為高溫高壓流體先通過蒸汽發生器，產生高壓蒸汽，再通過高壓氣液分離器，在此N2及大部分CO2以氣體物料離開分離器，進入透平機，為空氣壓縮機提供動力。液體物料（主要是水和溶在水中的CO2）經排出閥減壓，進入低壓氣液分離器，分離出的氣體（主要是CO2）進行排放，液體則為潔凈水，而作補充水進入水槽。反應轉化率R的定義如下：R=已轉化的有機物/進料中的有機物。
R的大小取決于反應溫度和反應時間。Modell的研究結果表明，若反應溫度為550～600 ℃，反應時間為5s，R可達99.99%。延長轉化時間可降低反應溫度，但將增加反應器體積，增加設備投資，為獲得550～600 ℃的高反應溫度，污水的熱值應有4000kJ/kg，相當于含10%（質量）苯的水溶液。對于有機物濃度更高的污水，則要在進料中添加補充水。
Shanableh等設計了一種連續流動反應裝置，如圖 8所示。該反應裝置的核心是一個由兩個同心不銹鋼管組成的高溫高壓反應器。被處理的廢水或污泥先被勻漿，然后用一個小的高壓泵將其從反應器外管的上部輸送到高壓反應器。進入反應器的廢液先被預熱，在移動到反應器中部時與加入的氧化劑混合，通過氧化反應，廢液得到處理。生成的產物從反應器下端的內管入口進入熱交換器。反應器內的壓力由減壓器控制，其值通過壓力計和一個數值式壓力傳感器測定。在反應器的管外安裝有電加熱器，并在不同位置設有溫度器測定。整個系統的溫度、流速、壓力的控制和監測都設置在一個很容易操作的面板上，同時有一個用聚碳酸酯制備的安全防護板來保護操作者。在反應器的中部、低部和頂部都設有取樣口。
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| 圖 8 連續流動超臨界水氧化反應裝置 |
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| 圖 9 超臨界水氧化分批微反應器 |
圖 9是Lee等人設計的分批微反應器。它由線圈型的管式反應器、壓力傳感器、溫差熱電偶和一個反應器支架組成。反應器用外部的沙浴加熱。
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為了闡明酚的超臨界水氧化機理，Thoronton等在較低溫度下進行酚的超臨界水氧化試驗，發現經過較短時間的反應，大部分酚轉化成高分子量產物，利用GC/MS分析鑒定出2-苯氧基酚、4-苯氧基酚；2，2’-聯苯酚、二苯并-P-二英等產物。這些中間產物的生成，應該加以重視，因為它們比初始物（酚）具有更大的危害性。在較高溫度下經過較長時間反應，不僅能使酚100%轉化，而且上述中間產物也全部被氧化。因此，在超臨界水氧化過程中，低溫下可能形成一些有毒的中間產物，但在高溫下又會被破壞。所以，在設計超臨界水氧化工藝時，應該選擇合適的工藝參數來最大限度地破壞初始物及中間反應產物。
